0200-06508 محافظ سرامیکی رویه 300 میلی‌متری

در سیستم‌های پیشرفته پردازش پلاسمای نیمه‌هادی، اجزای محافظ محفظه نقش حیاتی در حفظ پایداری فرآیند، کنترل آلودگی و طول عمر تجهیزات دارند. محافظ سرامیکی 0200-06508 با قطر 300 میلی‌متر، یک قطعه محفظه سرامیکی با مهندسی دقیق است که برای محیط‌های پلاسما با کارایی بالا در تولید نیمه‌هادی طراحی شده است.

در Semixlab، ما قطعات سرامیکی نیمه‌هادی با خلوص بالا را که برای کاربردهای دشوار PECVD، حکاکی پلاسما و رسوب‌گذاری طراحی شده‌اند، ارائه می‌دهیم و به کارخانه‌ها کمک می‌کنیم تا قابلیت اطمینان محفظه و ثبات فرآیند ویفر را بهبود بخشند.

مروری بر محصولات

سپر سرامیکی (Ceramic Shield Top) یک قطعه سرامیکی محافظ است که در ناحیه بالایی محفظه‌های فرآیند نیمه‌هادی، معمولاً نزدیک به مناطق تولید پلاسما و توزیع گاز، نصب می‌شود.

وظیفه اصلی آن محافظت از بدنه محفظه و سازه‌های فلزی داخلی در برابر قرار گرفتن مستقیم در معرض پلاسما، خوردگی شیمیایی و تجمع رسوب در طول فرآیندهای تولید نیمه‌هادی است.

محافظ سرامیکی 300 میلی‌متری مدل 0200-06508 برای سیستم‌های پیشرفته پردازش ویفر 300 میلی‌متری طراحی شده است که در آن‌ها پایداری پلاسما، تولید ذرات کم و کنترل آلودگی ضروری است.

● کارکردهای اصلی یک رویه محافظ سرامیکی

● محافظت از سطوح محفظه در برابر فرسایش پلاسما

● کاهش آلودگی ذرات داخل محفظه

● حفظ محیط‌های پایدار RF و پلاسما

● بهبود نظافت محفظه و تکرارپذیری فرآیند

● افزایش فواصل تعمیر و نگهداری تجهیزات و طول عمر قطعات

با کوچک‌تر شدن ساختارهای قطعات نیمه‌هادی، اجزای محافظ محفظه مانند سپرهای سرامیکی برای بهبود بازده و پایداری فرآیند اهمیت فزاینده‌ای پیدا کرده‌اند.

نقش‌های معمول در سیستم‌های نیمه‌هادی

روکش محافظ سرامیکی AMAT 0200-06508 معمولاً در تجهیزات پردازش پلاسمای Applied Materials (AMAT) برای ساخت ویفر 300 میلی‌متری استفاده می‌شود.

این قطعه سرامیکی که در ناحیه محفظه بالایی نصب می‌شود، به عنوان یک قطعه محافظ حیاتی در برابر پلاسما در محیط‌های پردازش پلاسما با چگالی بالا عمل می‌کند.

نقش‌های کلیدی شامل موارد زیر است:

۱. محافظ پلاسما

سپر سرامیکی، ساختار محفظه را از بمباران پلاسمای پرانرژی جدا می‌کند و به جلوگیری از موارد زیر کمک می‌کند:

● فرسایش دیواره محفظه

● آلودگی فلزی

● آسیب سطحی

۴. کاهش ذرات

تولید نیمه‌هادی‌های پیشرفته به محیط‌های با ذرات بسیار کم نیاز دارد.

روکش محافظ سرامیکی به کاهش موارد زیر کمک می‌کند:

● پاشش مواد

● پوسته پوسته شدن

● بقایای ناشی از پلاسما

۳. پایداری RF و پلاسما

به دلیل خواص دی‌الکتریک پایدار، سپر سرامیکی در موارد زیر نقش دارد:

● چگالی پلاسمای پایدار

● رفتار RF ثابت

● بهبود یکنواختی فرآیند

۴. افزایش طول عمر محفظه

با محافظت از ساختارهای حیاتی محفظه در برابر حمله مستقیم پلاسما، سپر سرامیکی به کاهش فرسودگی محفظه و دفعات نگهداری کمک می‌کند و زمان آماده به کار تجهیزات و راندمان عملیاتی را بهبود می‌بخشد.

در نتیجه، محافظ سرامیکی 0200-06508 با قطر 300 میلی‌متر، یک قطعه محافظ محفظه سرامیکی آلومینا با خلوص بالا است که برای بهبود پایداری پلاسما، کاهش آلودگی و افزایش قابلیت اطمینان فرآیند در سیستم‌های پیشرفته تولید نیمه‌هادی طراحی شده است.

چرا Semixlab را انتخاب کنیم؟

شرکت Semixlab در زمینه قطعات سرامیکی نیمه‌هادی با کارایی بالا برای پردازش پلاسما و محیط‌های ساخت ویفر پیشرفته تخصص دارد.

ما فراهم می کنیم:

● اجزای محفظه سرامیکی با خلوص بالا

● قطعات یدکی نیمه هادی دقیق

● محلول‌های سرامیکی مقاوم در برابر پلاسمای سفارشی

● پشتیبانی قابل اعتماد برای کاربردهای OEM و fab نیمه‌هادی

محصولات ما برای برآورده کردن الزامات سختگیرانه فرآیندهای تولید نیمه‌هادی مدرن مهندسی شده‌اند. ما صمیمانه امیدواریم که شریک بلندمدت شما در چین باشیم.