سرامیک SiC

سرامیک‌های SiC بیشتر و بیشتر در تجهیزات نیمه‌هادی استفاده می‌شوند، عمدتاً به این دلیل که در شرایط سخت‌تر، مقاومت بهتری دارند. وقتی دما بالا می‌رود یا فرآیند تهاجمی‌تر می‌شود، موادی مانند کوارتز یا سیلیکون می‌توانند شروع به نشان دادن محدودیت‌هایی کنند و این معمولاً جایی است که SiC وارد عمل می‌شود. در فرآیندهای کوره‌ای مانند اکسیداسیون یا انتشار، قطعاتی مانند قایق‌های ویفر یا پاروهای ساخته شده از SiC تمایل به دوام بیشتری دارند. آنها شکل خود را حفظ می‌کنند و حتی پس از مدت‌ها کار، آلودگی زیادی ایجاد نمی‌کنند. مردم اغلب به همین دلیل، به خصوص هنگامی که نگهداری بیش از حد مکرر می‌شود، از کوارتز استفاده می‌کنند.

برای اچینگ، SiC اغلب به این دلیل انتخاب می‌شود که در پلاسما دوام بیشتری دارد. تفاوت طول عمر در مقایسه با قطعات سیلیکونی در بسیاری از تنظیمات قابل توجه است، اگرچه هنوز به فرآیند دقیق بستگی دارد. همچنین تا حدودی به کنترل ذرات کمک می‌کند، که با کوچک شدن گره‌ها حساس‌تر می‌شود. همچنین خواهید دید که SiC به عنوان جاذب در MOCVD یا CVD استفاده می‌شود. در این موارد، کمتر به "استحکام" و بیشتر به حفظ ثبات رفتار دما مربوط می‌شود. به غیر از آن، در قطعات محفظه مانند آسترها یا سردوش‌ها و گاهی اوقات در جابجایی قطعات نیز ظاهر می‌شود.