گیرنده اپی LED روکش شده با TaC

اپی‌سوسپتور LED با پوشش TaC از فناوری پوشش کاربید تانتالوم (TaC) با خلوص بالا استفاده می‌کند که به طور ویژه برای تجهیزات MOCVD (رسوب بخار شیمیایی آلی فلزی) طراحی شده و برای فرآیند رسوب‌گذاری ویفرهای اپیتاکسیال LED در دمای بالا مناسب است. این محصول دارای مقاومت عالی در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی و پایداری حرارتی است که می‌تواند آلودگی و ریزش ذرات را به میزان قابل توجهی کاهش داده و عمر مفید را افزایش دهد. این یک انتخاب ایده‌آل برای بهبود عملکرد و راندمان تولید ویفر اپیتاکسیال LED است.

کاربرد:

اپی‌سوسپتور LED روکش‌دار با TaC به طور ویژه برای تجهیزات MOCVD طراحی شده است و عمدتاً در تولید ویفر اپیتاکسیال LED، به ویژه برای رشد اپیتاکسیال LEDهای آبی و فرابنفش مبتنی بر نیترید گالیم (GaN) استفاده می‌شود. همچنین می‌تواند نیازهای تولیدی دستگاه‌های نیمه‌هادی قدرت SiC/GaN را برآورده کند و برای آزمایش‌های رسوب‌گذاری مواد CVD، MBE و سایر آزمایش‌های رسوب‌گذاری مواد در مؤسسات تحقیقاتی علمی مناسب است.

خدمات قابل ارائه:

تجزیه و تحلیل سناریو برنامه مشتری، مواد تطبیق، حل مشکلات فنی.

نمایه شرکت:

Semixlab دارای 2 آزمایشگاه، تیمی از کارشناسان با 20 سال تجربه مواد، با قابلیت تحقیق و توسعه و تولید، آزمایش و تأیید است.

پارامترهای فنی

فیلدهای برنامه اصلی

تاییدیه زنجیره اکولوژیکی

تأیید زنجیره زیست‌محیطی اپی‌سوسپتور LED روکش‌دار Semixlab TaC از مواد اولیه تا تولید را پوشش می‌دهد، گواهینامه استاندارد بین‌المللی را دریافت کرده و دارای تعدادی فناوری ثبت اختراع شده است تا قابلیت اطمینان و پایداری آن در حوزه‌های نیمه‌هادی و انرژی‌های نو تضمین شود.

فرآیند درخواست معمولی

آماده‌سازی مواد اولیه (بازرسی گرافیت با خلوص بالا) → ساخت زیرلایه (پرس ایزواستاتیک) → فرآیند پوشش‌دهی TaC (رسوب CVD) → پس‌پردازش (پولیش دقیق) → بازرسی کیفیت → بسته‌بندی و تحویل

با پیشرفت فناوری LED به سمت اندازه‌های کوچک‌تر و دقت بالاتر مانند Mini LED و Micro LED، الزامات پایداری و کنترل فرآیند تجهیزات MOCVD به طور فزاینده‌ای افزایش می‌یابد. ارتقاء گیرنده اپی LED با پوشش TaC نه تنها می‌تواند کارایی تولید LED موجود را بهبود بخشد، بلکه پایه تولیدی قابل اعتمادتری را برای نسل بعدی فناوری نمایشگر فراهم می‌کند.

برای مشخصات فنی دقیق، گزارش‌های رسمی یا ترتیب آزمایش نمونه، لطفاً با تیم پشتیبانی فنی ما تماس بگیرید تا بررسی کنید که Semixlab چگونه می‌تواند کارایی فرآیند شما را افزایش دهد.

مزایای هسته اپی سوسپتور LED روکش‌دار Semixlab TaC

مقاومت در برابر دمای فوق العاده بالا

گیرنده‌های اپیتاکسیال LED روکش‌دار با TaC از جنس کاربید تانتالیوم با خلوص بالا ساخته شده‌اند که می‌توانند برای مدت طولانی در محیط‌های با دمای بالا بالاتر از 1200 درجه سانتیگراد به طور پایدار کار کنند. حتی در شرایط دمایی شدید فرآیند MOCVD، این پوشش ترک نمی‌خورد یا پوسته نمی‌شود و یکنواختی و ثبات فرآیند رشد اپیتاکسیال را تضمین می‌کند و به طور موثر عملکرد محصول را بهبود می‌بخشد.

مقاومت در برابر خوردگی عالی

در طول فرآیند تولید ویفرهای اپیتاکسیال LED، سوسپتور باید برای مدت طولانی در معرض محیط‌های گازی خورنده مانند H2 و NH3 قرار گیرد. پوشش TaC از نظر شیمیایی بی‌اثر است و می‌تواند به طور مؤثر در برابر فرسایش گاز مقاومت کند و از ناخالصی‌های ایجاد شده توسط اکسیداسیون یا واکنش جلوگیری کند، در نتیجه خلوص و عملکرد اپتوالکترونیکی ویفر اپیتاکسیال را تضمین می‌کند.

تغییر شکل حرارتی کم

ضریب انبساط حرارتی پوشش TaC با ضریب انبساط حرارتی زیرلایه گرافیتی بسیار مطابقت دارد و سوسپتور می‌تواند حتی در هنگام افزایش و کاهش سریع دما، نرخ تغییر شکل حرارتی بسیار پایینی را حفظ کند. این ویژگی می‌تواند خطر تاب برداشتن ویفر اپیتاکسیال را تا حد زیادی کاهش دهد، رشد یکنواخت لایه اپیتاکسیال را تضمین کند و ثبات محصول را بهبود بخشد.

پرداخت سطح بالا

سطح سوسپکتور به طور دقیق صیقل داده شده است و زبری آن زیر 0.5 میکرومتر کنترل می‌شود که به طور موثر میزان نقص را در طول رشد اپیتاکسیال کاهش می‌دهد. سطح صاف همچنین می‌تواند چسبندگی بین ویفر اپیتاکسیال و سوسپکتور را کاهش دهد و برداشتن ویفر را آسان‌تر کرده و خطر شکستگی ویفر را کاهش دهد.

طراحی عمر طولانی

در مقایسه با سوسپتورهای گرافیتی سنتی، پوشش TaC مقاومت سایشی و خوردگی بهتری دارد و عمر مفید آن را می‌توان بیش از 3 برابر افزایش داد. این امر نه تنها دفعات تعویض مواد مصرفی را کاهش می‌دهد، بلکه نوسانات فرآیند ناشی از فرسودگی سوسپتور را نیز کاهش می‌دهد که می‌تواند در درازمدت هزینه‌های تولید را به میزان قابل توجهی کاهش دهد.