بخاری گرافیتی با پوشش SiC برای MOCVD

اطلاعات محصولات

بخاری MOCVD گرافیتی با روکش SiC، رسانایی حرارتی عالی گرافیت را با مقاومت دمایی بالا و خوردگی پوشش‌های SiC ترکیب می‌کند و به طور گسترده در تجهیزات رسوب بخار شیمیایی فلز-آلی (MOCVD) برای اطمینان از پایداری و خلوص بالا در فرآیندهای رشد اپیتاکسی ویفر استفاده می‌شود.

ویژگی‌های محصول بخاری MOCVD گرافیتی روکش‌دار SiC

۱. خلوص فوق العاده بالا و پایداری شیمیایی

خلوص ≥99.99995%: بخاری گرافیتی ما تحت فرآیند کلرزنی در دمای بالا و با استفاده از فرآیند CVD تهیه می‌شود که به طور مؤثر از آلودگی ناخالصی‌های فلزی جلوگیری کرده و نیاز به محیط‌های فوق تمیز در تولید نیمه‌هادی‌ها را برآورده می‌کند.

خوردگی ضد شیمیایی: پوشش SiC با چگالی بالا و سختی بالا (سختی ویکرز ۲۵۰۰-۲۸۰۰) می‌تواند در برابر فرسایش اسیدها، قلیاها، نمک‌ها و حلال‌های آلی مقاومت کند و عمر مفید تجهیزات را در محیط‌های خورنده گازی افزایش دهد.

2. مقاومت در برابر درجه حرارت بالا

پایداری دمایی بالا: می‌تواند تا ۳۰۰۰ درجه سانتیگراد در اتمسفر خنثی، عملکرد پایدار تا ۲۲۰۰ درجه سانتیگراد در محیط خلاء و ۱۶۰۰-۱۷۰۰ درجه سانتیگراد در محیط اکسیدکننده را تحمل کند که برای شرایط سخت محفظه واکنش MOCVD مناسب است.

ضریب انبساط حرارتی پایین (4.5 x 10-⁶K-¹): این ویژگی بخاری گرافیتی MOCVD به طور موثری ترک خوردگی یا لایه برداری پوشش را به دلیل تغییرات دما کاهش می دهد و یکپارچگی ساختاری را در چرخه حرارتی طولانی مدت تضمین می کند.

۳. عملکرد مدیریت حرارتی بهینه شده

رسانایی حرارتی بالا (200-300 W/mK): رسانایی حرارتی بالای بخاری گرافیتی MOCVD مشخص می‌کند که این محصول می‌تواند گرما را به سرعت و یکنواخت منتقل کند تا به توزیع دمای ثابت سطح ویفر (±1°C) دست یابد و در نتیجه یکنواختی لایه اپیتاکسیال را به طور مؤثر بهبود بخشد.

طراحی میدان جریان گاز لایه‌ای: پس از تکرار و ارتقاء مداوم فناوری، صافی سطح گرم‌کن MOCVD ما (Ra ≤ 0.8μm) و بهینه‌سازی هندسه، توزیع یکنواخت گازهای واکنش‌پذیر را تضمین کرده و ناهمگونی رسوب ناشی از تلاطم را کاهش می‌دهد.

مقایسه پارامترهای فنی و مزایا

چرا سمیکسلب؟

سفارشی‌سازی: Semixlab متعهد به ارائه محصولات سفارشی و خدمات فنی به مشتریان خود است. ما از سفارشی‌سازی اندازه‌های غیر استاندارد (تا قطر ۳۶۰ میلی‌متر) و ضخامت پوشش (۲۰ تا ۵۰۰ میکرومتر) برای تطبیق با طیف وسیعی از نیازهای تجهیزات پشتیبانی می‌کنیم.

گواهینامه جهانی: بخاری گرافیتی روکش شده با SiC ما مطابق با استانداردهای SEMI و دارای گواهینامه ISO 9001 است و محصولات ما عمدتاً با مزیت قابل توجه قیمت/عملکرد به اروپا و ایالات متحده و همچنین ژاپن و کره جنوبی صادر می‌شوند.

هم‌افزایی فنی: Semixlab مدت‌هاست که با مؤسسات تحقیقاتی برتر چین همکاری نزدیکی دارد و از فناوری‌های پوشش‌دهی ثبت‌شده (مانند فرآیند SiC³ شرکت CGT Carbon) برای بهینه‌سازی چگالی پوشش و مقاومت در برابر شوک حرارتی استفاده می‌کند.