گیرنده سیاره‌ای روکش‌شده با SiC

گیرنده سیاره‌ای روکش‌شده با SiC شرکت Semixlab برای اپیتاکسی نیمه‌هادی نسل بعدی و پردازش حرارتی CVD مهندسی شده است، که در آن یکنواختی حرارتی، رشد بدون نقص و پایداری طولانی‌مدت محفظه برای عملکرد دستگاه بسیار مهم است. این حامل به طور خاص برای محیط‌های با دمای بالا بیش از 1500 درجه سانتیگراد و شیمی گاز پیچیده‌ای که معمولاً در سیستم‌های اپیتاکسیال سیلیکون، SiC و GaN یافت می‌شود، طراحی شده است. پوشش اختصاصی SiC یک لایه محافظ متراکم و با خلوص بالا ایجاد می‌کند که از آلودگی جلوگیری می‌کند و عملکرد پایدار و چرخه طولانی را در کارخانه‌های تولیدی دشوار تضمین می‌کند.

در فرآیندهای اپیتاکسیال نیمه‌هادی مانند رشد Si، SiC و GaN، حامل‌های ویفر سیاره‌ای به عنوان پلتفرم اصلی مکانیکی و حرارتی برای انتقال ویفرها به منطقه واکنش عمل می‌کنند. رسانایی حرارتی بهینه شده آنها توزیع دقیق دما را ممکن می‌سازد، در حالی که سیستم چرخش سیاره‌ای یکنواختی در نرخ رشد، ترکیب دوپانت و کیفیت کریستال را در چندین ویفر تضمین می‌کند. در تولید دستگاه‌های قدرت SiC، حتی نوسانات دمای زیرلایه ±1-2٪ بر چگالی نابجایی صفحه پایه و عملکرد دستگاه تأثیر می‌گذارد. یکنواختی حرارتی بهبود یافته ارائه شده توسط حامل‌های ویفر سیاره‌ای پوشش داده شده با SiC به کارخانه‌ها کمک می‌کند تا چگالی نقص را کاهش دهند، یکنواختی ضخامت را بهبود بخشند و بازده دسته به دسته را افزایش دهند.

فراتر از فرآیندهای اپیتاکسی، این جاذب همچنین در فرآیندهای انتشار رسوب بخار شیمیایی و آنیل حرارتی بسیار مهم است و به عنوان یک رابط حرارتی پایدار بین منبع گرما و سطح ویفر عمل می‌کند. ویژگی‌های سطحی عاری از باقیمانده و کم ذرات آن، خطرات آلودگی را در طول چرخه‌های حرارتی طولانی به حداقل می‌رساند و ویفرها را از حفره‌دار شدن، تشکیل ذرات یا آلودگی پشتی محافظت می‌کند. در مقایسه با مجموعه‌های نگهدارنده مبتنی بر گرافیت معمولی، طراحی پوشش SiC Semixlab به طور قابل توجهی عمر مفید را افزایش می‌دهد، زمان از کارافتادگی برای تمیز کردن و نوسازی را کاهش می‌دهد و هزینه‌های کمتری را برای خطوط تولید با حجم بالا ارائه می‌دهد.

هر گیرنده سیاره‌ای روکش‌شده با SiC از Semixlab با استفاده از زیرلایه‌های گرافیتی با خلوص بالا و فناوری پیشرفته رسوب پوشش SiC به روش CVD تولید می‌شود تا از استحکام چسبندگی پوشش، یکنواختی ضخامت و مقاومت در برابر شوک حرارتی اطمینان حاصل شود. این محصول ابعاد و پیکربندی‌های قابل تنظیمی را برای تطبیق با پلتفرم‌های اپیتاکسیال پیشرو مورد استفاده در تولید تجهیزات نیمه‌هادی جریان اصلی ارائه می‌دهد. خدمات فنی Semixlab شامل ارزیابی عملکرد پوشش، مشاوره سازگاری محفظه و مدیریت چرخه عمر است که برای کمک به کارخانه‌ها در افزایش ظرفیت، حفظ بازده و افزایش چرخه‌های تولید تجهیزات طراحی شده است. ما صمیمانه منتظر سوالات بیشتر شما هستیم.