نمد گرافیتی سفت و سخت

نمد گرافیتی سفت Semixlab (RGF) به عنوان یک عایق حرارتی با دمای بالا و یک جزء مدیریت حرارتی حیاتی برای رشد انتقال بخار فیزیکی (PVT) تک بلورهای SiC مهندسی شده است. این نمد سفت و سخت که برای استفاده در تولید ویفرهای 4H و 6H-SiC نسل بعدی طراحی شده است، رسانایی حرارتی بسیار پایین، یکپارچگی ساختاری بالا و خلوص شیمیایی استثنایی را با هم ترکیب می‌کند و آن را به یک ماده اساسی در کوره‌های تصعید SiC با کارایی بالا تبدیل می‌کند. کاربرد آن کنترل دقیق گرادیان‌های حرارتی، شرایط رشد پایدار و کیفیت کریستال بهبود یافته را در چرخه‌های تولید طولانی مدت تضمین می‌کند.

در فرآیند SiC PVT، حفظ یک میدان حرارتی ثابت و یکنواخت برای دستیابی به تک کریستال‌های بدون نقص بسیار مهم است. نمد گرافیتی سخت به عنوان عایق اصلی کوره عمل می‌کند و بوته تصعید و ساختارهای میدان حرارتی را احاطه می‌کند. رسانایی حرارتی پایین آن، اتلاف گرمای ناخواسته را کاهش می‌دهد و گرادیان دمای هدف بین منبع SiC و کریستال بذر را حفظ می‌کند. RGF با کنترل پروفیل‌های دمایی شعاعی و محوری، تشکیل نابجایی‌های صفحه پایه، خطاهای انباشتگی و میکروپایپ‌ها را به حداقل می‌رساند که مستقیماً بر یکپارچگی ساختاری و عملکرد الکترونیکی ویفرهای SiC حاصل تأثیر می‌گذارد.

فراتر از قابلیت‌های عایق حرارتی، ساختار سفت و سخت نمد گرافیتی Semixlab، پایداری مکانیکی را در محیط‌های با دمای بالا بیش از 2000 درجه سانتیگراد فراهم می‌کند. برخلاف نمدهای انعطاف‌پذیر یا نرم، RGF شکل خود را در چرخه‌های حرارتی طولانی مدت حفظ می‌کند و از فروپاشی یا تغییر شکل که می‌تواند میدان حرارتی را مختل کند یا طول عمر کوره را به خطر بیندازد، جلوگیری می‌کند. بی‌اثری شیمیایی آن، حداقل انتشار ذرات را تضمین می‌کند و از آلودگی بول SiC جلوگیری می‌کند، که برای تولید زیرلایه‌های با مقاومت بالا برای الکترونیک قدرت و کاربردهای دستگاه‌های با شکاف باند وسیع بسیار مهم است.

نمد گرافیتی سفت Semixlab که با استفاده از کربن گرافیتی با خلوص بالا و تکنیک‌های پیشرفته متراکم‌سازی تولید می‌شود، چگالی یکنواخت، پایداری ابعادی عالی و دوام طولانی‌مدت را نشان می‌دهد. ترکیب عملکرد حرارتی و استحکام مکانیکی آن، کارخانه‌های نیمه‌هادی را قادر می‌سازد تا به نرخ رشد ثابت، پروفیل‌های دمایی تکرارپذیر و زمان از کارافتادگی کاهش یافته در سیستم‌های PVT دست یابند. RGF با بهینه‌سازی راندمان حرارتی کوره، در صرفه‌جویی در انرژی نیز نقش دارد و در عین حال یکنواختی و بازده ویفر را افزایش می‌دهد.

نمد گرافیتی سخت Semixlab عملکرد، خلوص و پایداری ساختاری مورد نیاز برای پشتیبانی از رشد تک بلور SiC با کیفیت بالا را ارائه می‌دهد و یک راه‌حل مواد قوی برای تولید ویفر نسل بعدی، افزایش عمر کوره و مدیریت حرارتی برتر در محیط‌های با دمای بسیار بالا را در اختیار تولیدکنندگان قرار می‌دهد.