کوره پرس داغ تحت خلاء برای اتصال دانه‌های کریستال SiC

پیوند کریستال بذری یکی از فرآیندهای حیاتی مؤثر بر رشد کریستال است. بر اساس ویژگی‌های پیوند کریستال بذری، Semixlab تجهیزات پرس داغ خلاء تخصصی برای پیوند کریستال بذری توسعه داده است. این تجهیزات به طور مؤثر نقص‌های مختلف ایجاد شده در طول فرآیند پیوند را کاهش می‌دهد و در نتیجه بازده پیوند کریستال بذری و کیفیت نهایی کریستال‌ها را بهبود می‌بخشد.

Ⅰ. مقدمه‌ای بر تجهیزات پرس داغ وکیوم برای پیوند کریستال بذر

۱. برای پیوند کریستال بذر قبل از رشد کریستال SiC استفاده می‌شود.

۲. دانه‌های پیوندی چسبندگی خود را در دمای ۲۳۰۰ درجه سانتیگراد بدون جدا شدن حفظ می‌کنند و به پیوند ۱۰۰٪ بدون حباب با صافی بالا و سطوح ویفر تمیز و عاری از جذب ناخالصی دست می‌یابند.

۳. سینی گرمایش از گرمایش مقاومتی دیسکی استفاده می‌کند که توزیع یکنواخت دما، عملکرد ایمن و کاربری آسان را تضمین می‌کند.

۴. حسگرهای فشار نصب‌شده در زیر سینی، فشار اعمال‌شده بر قطعه کار را به‌طور دقیق نمایش می‌دهند.

دوم. بررسی اجمالی عملکرد تجهیزات پرس گرم وکیوم کریستال بذر

کوره پرس گرم وکیوم Semixlab Seed Crystal برای پرس گرم وکیوم کریستال‌های دانه‌ای سیلیکون کاربید طراحی شده است.

۱. محفظه فلزی دولایه خنک‌شونده با آب، دمای سطح کوره را به طور مؤثری کاهش می‌دهد، خطرات ناشی از دمای بالا را به حداقل می‌رساند و تأثیرات زیست‌محیطی را کم می‌کند.

۲. قابلیت اعمال و نگه‌داشتن فشار خودکار، بارگذاری تدریجی و جابجایی با کنترل خودکار؛

۳. پیکربندی‌های متنوع سیستم خلاء، امکان انتخاب سطوح مختلف خلاء را بر اساس نیازهای فرآیند فراهم می‌کند.

4. توزیع فشار یکنواخت و دقت کنترل دمای بالا؛

۵. اعمال فشار با استفاده از مکانیزم‌های دقیق رانش مکانیکی برای تحویل فشار دقیق و پایدار، تضمین عملکرد ایمن و سازگاری با محیط زیست؛

۶. اتصال مشترک جهانی بین سر پرس بالایی و میله رانش، موازی بودن تطبیقی ​​بین سر پرس بالایی و سینی پایینی را در حین پرس تضمین می‌کند و توزیع فشار یکنواخت را تضمین می‌کند.

۷. سر پرس بالایی دارای فشار ضربه‌گیر برای اعمال نیروی نرم و ملایم بدون ضربه است که از شکستگی قطعه کار جلوگیری می‌کند.

۸. حسگرهای دما که در رابط صفحه انتقال حرارت با کنترل‌کننده دما ادغام شده‌اند، امکان کنترل دقیق دمای گرمایش و برنامه‌ریزی را فراهم می‌کنند.

۹. هم پالت و هم سر پرس بالایی دارای عایق‌هایی هستند تا اتلاف گرما را به حداقل برسانند.

Ⅲ. عملکرد و ویژگی‌های دستگاه پرس گرم وکیوم کریستال بذر Semixlab

۱. استخراج تدریجی با خلاء و سرعت پمپاژ کنترل‌شده؛

۲. محفظه بزرگ برای پتانسیل ارتقاء فراوان؛

3. سر پرس پایدار با عملکرد خودکار؛

۴. کنترل افزایش و رهاسازی فشار با شیب فشار خودکار و تنظیم دستورالعمل؛

۵. کنترل دقیق دما با چرخه‌های دما و فشار قابل برنامه‌ریزی؛

۶. پارامترهای خلاء، فشار و دما قابل تنظیم برای فرآیندهای اتصال متنوع؛

۷. پیوند متراکم با صفر حباب؛

۸. نرخ شکستگی بسیار پایین - عملاً هیچ شکستگی ناشی از دستگاه وجود ندارد.

۹. سازگاری: از ویفرهای ۶ تا ۱۲ اینچی پشتیبانی می‌کند؛

۱۰. حداکثر فشار رو به پایین: ۱.۶ T؛

۱۱. حداکثر خلاء: ۵ پاسکال (سرد)؛

۱۲. یکنواختی دمای سکوی گرمایش: <±۳℃، σ<۴ (در ۲۰۰℃)؛

۱۳. نوسان فشار: کمتر از ۰.۵٪.

پارامترهای کوره پرس گرم برای اتصال دانه