گرافیت متخلخل با خلوص بالا

گرافیت متخلخل با خلوص بالا یک ماده حیاتی برای تولید نیمه‌هادی‌های پیشرفته است، جایی که پایداری حرارتی استثنایی، سطح آلودگی بسیار کم و ثبات فرآیند از اهمیت بالایی برخوردار است. محلول‌های گرافیت متخلخل با خلوص بالای Semixlab به طور خاص برای فرآیندهای نیمه‌هادی با دمای بالا و حساس به آلودگی مهندسی شده‌اند.

در فرآیندهای اپیتاکسی، گرافیت متخلخل با خلوص بالا به طور گسترده در اجزای کلیدی مانند نگهدارنده‌های زیرلایه، حامل‌های ویفر، ساختارهای توزیع گاز و عناصر میدان حرارتی استفاده می‌شود. در طول رشد اپیتاکسی Si، SiC و GaN، یکنواختی دقیق دما و جریان پایدار گاز از عوامل حیاتی برای کنترل ضخامت لایه، یکنواختی آلایش و سرکوب نقص هستند. ریزساختار متخلخل گرافیت Semixlab امکان توزیع حرارتی یکنواخت‌تر و انتشار کنترل‌شده گاز در سراسر سطح ویفر را فراهم می‌کند و در نتیجه بی‌ثباتی لایه مرزی و اثرات لبه را کاهش می‌دهد.

در طول فرآیندهای انتشار و اکسیداسیون که نیاز به عملکرد پایدار در دمای بالاتر از 1000 درجه سانتیگراد دارند، گرافیت متخلخل با خلوص بالا به عنوان یک ماده ساختاری و نگهدارنده قابل اعتماد برای قایق‌های ویفر، آسترها و اجزای عایق حرارتی عمل می‌کند. در مقایسه با گرافیت متراکم، ساختار متخلخل آن تنش حرارتی و تغییر شکل را در طول چرخه‌های حرارتی مکرر کاهش می‌دهد، پایداری ابعادی را افزایش می‌دهد و طول عمر قطعه را افزایش می‌دهد. بی‌اثری شیمیایی ذاتی و محتوای ناخالصی کم آن به حفظ یک محیط فرآیند تمیز کمک می‌کند و از کنترل دقیق بر پروفایل‌های انتشار دوپانت و کیفیت لایه اکسید پشتیبانی می‌کند و در عین حال خطرات تولید ذرات و آلودگی متقابل را به حداقل می‌رساند.

برای فرآیندهای CVD، LPCVD و PECVD، گرافیت متخلخل با خلوص بالا نقش مهمی در گرم‌کن‌ها، حامل‌های ویفر و اجزای داخلی محفظه که در معرض گازهای واکنش‌پذیر و دماهای بالا قرار دارند، ایفا می‌کند. رسانایی حرارتی عالی این ماده، انتقال حرارت سریع و یکنواخت را تضمین می‌کند، در حالی که ساختار متخلخل آن امکان به دام انداختن کنترل‌شده محصولات جانبی رسوب را فراهم می‌کند و پوسته‌پوسته شدن و انتشار ذرات را در طول کارکرد طولانی تجهیزات به حداقل می‌رساند. این امر مستقیماً به افزایش پایداری فرآیند، افزایش فواصل تعمیر و نگهداری و افزایش زمان کارکرد تجهیزات کمک می‌کند.

گرافیت متخلخل با خلوص بالای Semixlab تحت یک سیستم کنترل کیفیت دقیق، با مدیریت دقیق انتخاب مواد اولیه، خالص‌سازی و مهندسی ریزساختار تولید می‌شود. در صورت نیاز به افزایش طول عمر یا عملکرد در محیط‌های شیمیایی دشوارتر، این محصول با پوشش‌های محافظ پیشرفته مانند SiC یا TaC سازگار است. با بهره‌گیری از انعطاف‌پذیری طراحی استثنایی، قابلیت ماشینکاری و فناوری پیشرفته پوشش نیمه‌هادی، راه‌حل‌های ما می‌توانند دقیقاً مطابق با الزامات خاص پلتفرم تجهیزات نیمه‌هادی و گره فرآیند شما تنظیم شوند. ما صمیمانه مشتاقانه منتظریم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.